Sat, 16 May 2026 RO   EN        Lista de proiecte » Dezvoltarea Tehnologiilor Inovatoare de Fabricare a Elementelor Optice Dezvoltarea Tehnologiilor Inovatoare de Fabricare a Elementelor Optice www.nipne.ro/proiecte/pn4/25-proiecte.html Acronim: DIOEMT Autoritatea contractanta: IFA Numar / Data contract: ELI-RO/OMP/2024_001 / 2025-11-01 Program: 5.9/5.9.1/ELI-RO Director proiect: Dr. Octavian Danila Parteneri: Data incepere / finalizare proiect: 2025-11-01 / 2027-12-31 Valoarea proiectului: 2.377.766 RON Rezumat: Acest proiect urmareste dezvoltarea unor tehnologii inovatoare care sa depaseasca limitarile tehnicilor conventionale de fabricatie utilizate pentru componente optice de inalta performanta destinate laserelor cu intensitate extrem de mare. In metodele traditionale de fabricare a componentelor optice, lustruirea se realizeaza prin contact mecanic cu particule abrazive; totusi, aceasta metoda conduce la defecte invizibile in stratul sub-superficial si la reziduuri abrazive, ceea ce reduce rezistenta la deteriorarea indusa de laser. De asemenea, metodele clasice de depunere in vid prezinta constrangeri legate de controlul grosimii peliculei, de materialele utilizate si de contaminarea generata in timpul procesului. Pentru a depasi aceste probleme, proiectul propune o abordare fundamental diferita fata de metodele clasice de lustruire si depunere, in vederea fabricarii componentelor optice performante. Vor fi abordate urmatoarele directii de cercetare: Obiective: 1. Lustruirea substraturilor prin Ion Beam Figuring (IBF) Tehnologia IBF, utilizata in fabricarea oglinzilor de inalta precizie pentru litografia EUV in industria semiconductorilor, va fi introdusa in procesul de fabricare a opticii laser de mari dimensiuni. IBF este un proces fara contact, oferind avantaje semnificative fata de metodele clasice de lustruire. Pentru a evita generarea de defecte cauzate de ciocnirile ionice, se va optimiza energia fasciculului de ioni pentru a lucra in regim de gravare. 2. Curatarea de inalta precizie a substratului inainte de depunere Eliminarea particulelor de dimensiuni sub-micronice este o provocare majora, dar esentiala pentru imbunatatirea pragului de deteriorare indusa de laser (LIDT). Vom stabili metode eficiente de curatare, cum ar fi eliminarea prin impact cu gheata carbonica (CO2 solid). 3. Depunerea uniforma pe suprafete mari folosind Atomic Layer Deposition (ALD) Depunerea uniforma a straturilor subtiri pe suprafete mari este dificila prin metodele traditionale, insa este posibila teoretic prin ALD. Vom dezvolta metode aplicabile in contexte viitoare de scara larga, in doua directii: (1) Dezvoltarea de pelicule cu prag de deteriorare ultra-inalt prin depuneri mixte Prin utilizarea depunerii de materiale mixte si perfectionarea metodei ALD, se urmareste obtinerea unor straturi subtiri cu prag de distrugere optica (LIDT) foarte ridicat, inclusiv acoperiri cu indice variabil sau gradat. De asemenea, se va explora extinderea benzii grilelor dielectrice. (2) Dezvoltarea de componente optice durabile pentru utilizare la frecventa ridicata Prin combinarea materialelor cu conductivitate termica ridicata cu oxizi conventionali (de exemplu, AlN, SiC), se vor crea dispozitive optice capabile sa mentina stabilitatea chiar si in conditii de functionare intensa. Aceste dezvoltari tehnologice vor contribui semnificativ la imbunatatirea procesului de fabricatie pentru elementele optice destinate laserelor de inalta putere. Rezultatele proiectului vor fi compatibile si direct aplicabile echipamentelor planificate in cadrul viitorului centru optic aflat in pregatire la ELI-NP. Dupa finalizarea centrului, aceste tehnologii vor putea fi utilizate imediat in scopuri practice si operationale. ETAPELE PROIECTULUI SI DATELE DE PREDARE 1. Analiza numerica a proprietatilor termice induse de radiatia laser pentru structurile optice multistrat, in vederea obtinerii fie a unui control asupra proprietatilor de camp, fie a unui prag de distrugere optica ridicata (2026-12-31) 2. Testarea depunerii materialelor oxidice prin depunerea straturilor de grosime atomica (ALD) (2026-12-31) 3. Achizitia sistemului experimental necesar pentru realizarea si analizarea depunerilor mixte multistrat (2027-03-01) 4. Realizarea depunerilor de materiale mixte si confirmarea proprietatilor termice superioare celor din prezent (2027-12-31) 5. Instruirea echipei de tehnicieni, ingineri, doctoranzi si post-doctoranzi in vederea realizarii analizei numerice si a validarii experimentale a proprietatilor optice ale straturilor depuse. (2027-12-31) REZULTATE ARTICOLE PUBLICATE ECHIPA DE CERCETARE Inapoi la Lista de proiecte English version of the project      Address: Str. Reactorului no.30, P.O.BOX MG-6, Bucharest - Magurele, ROMANIA Tel: +(4021) 404.23.00, Fax: +(4021) 457.44.40 2026 IFIN-HH. All rights reserved.