Principiu

Un experiment de retroimprastiere poate determina masa nucleului din tinta (folosind conservarea energiei si a impulsului), adancimea la care se gaseste acesta (folosind pierderea de energie specifica in tinta) si concentratia atomilor respectivi folosind sectiunea eficace de imprastiere.

Echipament

Fasciculele diferite (He, D, N) furnizate de catre Ciclotronul U-120 la energii de 1,8 - 10 MeV sunt transportate prin linia de fascicul prevazuta cu optica ionica aferenta la statia terminala (camera de reactie) prevazuta cu doua sisteme goniometrice, suportul tintei, doua detectoare de particule si lantul electronic de achizitie.

Domeniu de utilizare

Laboratoare de C&D implicate in realizarea/caracterizarea materialelor nanostructurate, industria semiconductorilor, companii din domeniul micro si nanotehnologiilor.

Analize tipice realizate

Analiza compozitiei

Spectrele experimentale (rosu) si simulate (albastru) pentru o proba de aliaj Ti0,47Ni0,43Nb0,10 cu proprietati de memorie a formei (spectrele individuale pentru elementele constitutive sunt figurate in partea de jos cu linii colorate). Stratul superficial contaminat cu elemente usoare (C, O) analizat cu fascicule de deuteroni a avut o grosime de 90nm si 65% carbon cu 35% oxigen.

Profilarea in adancime a concentratiei elementale

Spectrele experimentale si simulate (primul rand) si concentratia corespunzatoare rezultata (al doilea rand) pentru un strat de oxigen implantat in Si inainte si dupa un tratament termic la 1000^o C

Grosimea straturilor nanostructurate

Spectrele experimentale si simulate pentru analiza RBS a 5 perechi de straturi de ZrN/TiN avand 15 nm/ strat depuse pe Si cu un strat de aderenta de Ti de 300 nm obtinute cu fascicule de He de 2,7 MeV (stanga, primul rand) si fascicule de N la 9,65 MeV (al doilea rand); folosirea fasciculelor de N a condus la imbunatatirea separarii masice si a rezolutiei in adancime.